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湿法蚀刻工艺

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楼主
ID:864797 发表于 2021-1-8 10:21 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高,因为所用化学药品可以非常精确地适应各个薄膜。对于大多数解决方案,选择性大于1001

湿化学YES(1月8).docx

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湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高,因为所用化学药品可以非常精 ...

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